手持式光譜儀雖然本身測量準確度很高，但測定試樣中元素含量時(shí)，所得結果與真實(shí)含量通常不一致，存在一定誤差，并且受諸多因素的影響，有的材料本身含量就很低。
手持式光譜儀系統誤差的來(lái)源有：
(1)標樣和試樣中的含量和化學(xué)組成不*相同時(shí)，可能引起基體線(xiàn)和分析線(xiàn)的強度改變，從而引入誤差。
(2)標樣和試樣的物理性能不*相同時(shí)，激發(fā)的特征譜線(xiàn)會(huì )有差別從而產(chǎn)生系統誤差。
(3)澆注狀態(tài)的鋼樣與經(jīng)過(guò)退火、淬火、回火、熱軋、鍛壓狀態(tài)的鋼樣金屬組織結構不相同時(shí)，測出的數據會(huì )有所差別。
(4)未知元素譜線(xiàn)的重疊干擾。如熔煉過(guò)程中加入脫氧劑、除硫磷劑時(shí)，混入未知合金元素而引入系統誤差。
(5)要消除系統誤差，必須嚴格按照標準樣品制備規定要求。為了檢查系統誤差，就需要采用化學(xué)分析方法分析多次校對結果。
